主要应用晶圆检测与加工、高精度计量、超精密加工、半导体行业、光学检测、医疗设备、三维激光微加工、非球面微加工等。主要参数型号RSH100ARSV150ARSV200ARSV250ARSV300ARSV...

产品介绍高精度空气静压直线平台集成了无铁芯直线电机、高精度光栅尺及气浮导轨，可以获得极高的定位精度，速度稳定性高以及优越的机械性能。空气静压导轨采用闭式气浮结构，四面均匀受力，保证了导轨超高的各向刚度...